Poröse Keramik -Vakuum -Chucks spielen eine entscheidende Rolle bei der Herstellung von Halbleitern und bei der Verarbeitungsgeräte für Wafer. Diese fortgeschrittenen Chucks werden bei der Behandlung von Siliziumwafern, zusammengesetzten Halbleitersubstraten, piezoelektrischen Keramiken, LED -Komponenten, optischen Elementen und Halbleiterverpackungsmaterialien häufig eingesetzt.
Schlüsselvorteile
1. überlegene Luftdurchlässigkeit
Die gleichmäßige mikroporöse Struktur sorgt für einen konsistenten Luftstrom und ermöglicht eine stabile und sichere Waferadsorption. Dies verhindert das Wafer -Schlupf beim Schleifen und Polieren und verbessert die allgemeine Prozesszuverlässigkeit.
2. Dichte und gleichmäßige Struktur
Die Chuck-Oberfläche wird aus hochwertigen mikroporösen Keramik hergestellt und widersetzt sich der Kontamination aus Siliziumtrümmern und abrasiven Partikeln. Diese Funktion verbessert nicht nur die Sauberkeit, sondern vereinfacht auch die Wartung.
3.. Hohe mechanische Stärke
Poröse Keramikschicks halten unter extremen Verarbeitungsbedingungen die strukturelle Stabilität. Sie widerstehen der Deformation während des Mahlens, um eine gleichmäßige Druckverteilung über die gesamte Waferoberfläche zu gewährleisten und das Rand -Chipping oder -Bruch zu minimieren.
4.. Verlängerte Lebensdauer
Die langlebige Oberfläche hält die Flachheit über lange Betriebsperioden aufrecht und verringert die Verbindungsfrequenz und den Materialverlust. Dies führt zu Kosteneinsparungen und zu einer verbesserten Produktionseffizienz.
5. Einfache Wartung und Reparatur
Poröse Keramik -Vakuum -Chicks sind so ausgelegt, dass sie während der Verarbeitung Riss-, Abbrecher- und Partikelabschubstieren widerstehen. Sie sind leicht wiederherzustellen und gewährleisten minimale Ausfallzeiten und kontinuierliche Produktivität.
Poröse Keramik -Vakuum -Chucks sind bei der Verarbeitung von Halbleiter -Wafer, der LED -Substratverdünnung, der polierenden optischen Komponenten und fortgeschrittenen Verpackungsanwendungen unverzichtbare Komponenten geworden. Mit überlegener Präzision, Zuverlässigkeit und Haltbarkeit bieten sie eine optimale Lösung für die hochwertige elektronische Herstellung.
Weitere Informationen oder Anpassungsoptionen: Halbleiter -Roboterarm /Halbleiter Keramik -Roboterarm /Waferhandling Keramikarm
