Poröse Keramik -Vakuum -Chucks verbessern die Präzisionsherstellung

2025,08,21

Poröse Keramik-Vakuum-Chucks , auch als poröser Keramik-Chuck-Tische bekannt, sind mit fortschrittlichen mikroporösen Keramik und hochfesten Rahmen ausgelegt. Ihre einzigartige Struktur bietet hervorragende Stabilität und Leistung für anspruchsvolle industrielle Prozesse.

Vier wichtige Vorteile

Hohe Flachheit und Parallelität für die Präzisionsausrichtung
Dichte und gleichmäßige Struktur mit überlegener mechanischer Stärke
Starke Luftdurchlässigkeit mit Porengrößen im Bereich von 5 bis 200 μm und Porosität von 30–50%
Konsistente Adsorptionskraft mit Druckvariation innerhalb von ± 3 kPa in einer Fläche von 10 × 10 mm

Anwendungsfelder

Poröse Keramik -Vakuum -Chucks werden weit verbreitet in:

Waferwürfelautomaten
Waferverdünnungsausrüstung
Laserbohrsysteme
Präzisionsdruckprozesse
Luftaufschwungs-Plattformen
Waferinspektionssysteme

Durch die Kombination von hoher Präzision, Haltbarkeit und stabiler Adsorption sind poröse Keramik -Vakuum -Chucks zu einer wesentlichen Komponente in der Herstellung und der Präzisions -Engineering -Industrie der Halbleiter geworden. Sie unterstützen weiterhin die fortschrittlichen Produktionsanforderungen für Elektronik- und High-Tech-Anwendungen.

Weitere Informationen oder Anpassungsoptionen: Halbleiter -Roboterarm /Halbleiter Keramik -Roboterarm /Waferhandling Keramikarm

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