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Mikroporöse Keramikvakuum -Chucks für eine zuverlässige Waferverarbeitung

2025,08,20
Mikroporöse Keramik -Vakuum -Chicks werden bei der Verarbeitung der Halbleiterwafer häufig verwendet, einschließlich Ausdünnung, Formbildung, Würfeln, Schleifen und Reinigen. Diese Vorrichtungen als Präzisionsarbeitstabelle fungieren in den kritischen Produktionsschritten sicher.
Die Spannoberfläche besteht aus Aluminiumoxid-Keramik, wo durch Hochtemperatursintern eine gleichmäßige poröse oder hohle Struktur gebildet wird. Durch den Anbringen von Unterdruck erzeugt das System eine stabile Vakuumsaugung, um Wafer und andere Komponenten fest in Position zu beheben.
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Die Basis und der Rahmen können je nach Prozessanforderungen aus Aluminiumlegierung, Edelstahl oder Keramik hergestellt werden.
Schlüsselvorteile:
  • Hohe Härte und Haltbarkeit
  • Schnelle Wärmeissipation
  • Ausgezeichneter Verschleißfestigkeit
  • Starke Säure- und Alkali -Korrosionsbeständigkeit
  • Hohe Flachheit, Parallelität und einheitliche Mikroporenverteilung
  • Glatte Oberfläche mit zuverlässiger und sogar Saugleistung
Darüber hinaus können nicht standardmäßige Entwürfe so angepasst werden, dass bestimmte Kundenanforderungen erfüllt werden, um die Flexibilität in verschiedenen Halbleiteranwendungen zu gewährleisten.
Weitere Informationen oder Anpassungsoptionen: Halbleiter -Roboterarm /Halbleiter Keramik -Roboterarm /Waferhandling Keramikarm
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Autor:

Mr. sxpw

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