Was sind im Bereich Mikroelektronik die Unterschiede zwischen 99,6%, 96% und schwarzen Aluminiumoxid -Substraten?

Der Standard für Dicke -Filmkreissubstrate beträgt 96% Aluminiumoxid. Es verfügt über ausgezeichnete elektrische Isolationseigenschaften, hohe mechanische Festigkeit, gute thermische Leitfähigkeit, chemische Haltbarkeit und dimensionale Stabilität. Die Oberflächenrauheit liegt im Allgemeinen zwischen 0,2 und 0,6 μm und die maximale Betriebstemperatur des Substrats kann 1600 ℃ erreichen. Die Verfügbarkeit, niedrige Kosten und technische Qualität von 96% Aluminiumoxid machen es zu einer wirtschaftlichen Wahl für die Herstellung hybridmikroelektronischer Schaltungen.

99,6% Aluminiumoxid ist das Hauptmaterial für die meisten dünn - elektronischen Filmsubstratanwendungen. Es wird normalerweise zum Sputter, Verdunstung und chemische Dampfabscheidung von Metallen in der Schaltungsherstellung verwendet. 99,6% Aluminiumoxid haben eine höhere Reinheit und eine geringere Korngröße. Das daraus hergestellte Substrat hat eine ausgezeichnete Oberflächenglattheit (mit einer Oberflächenrauheit im Allgemeinen zwischen 0,08 und 0,1 μm) und die maximale Betriebstemperatur des Substrats kann 1700 ℃ erreichen. 99,6% Aluminiumoxid weist eine hohe mechanische Festigkeit, eine geringe thermische Leitfähigkeit, eine hervorragende elektrische Isolierung, gute dielektrische Eigenschaften sowie eine gute Korrosions- und Verschleißfestigkeit auf. In ähnlicher Weise ist 99,5% Aluminiumoxidsubstrat auch ein häufig verwendetes Material für dünne Filmkreissubstrate. Das 99,5% ige Aluminiumoxid -Substrat ist eine wirtschaftliche Alternative für dünne Filmanwendungen mit weniger anspruchsvollen Anforderungen.

Gemeinsame Aluminiumoxid ist weiß, aber für einige Anwendungen ist es notwendig, Lichtreflexion aus dem Aluminiumoxid -Substrat zu vermeiden, sodass das "schwarze Aluminiumoxid" -Produkt entwickelt wurde. Schwarze Aluminiumoxid -Keramik -Substrate werden hauptsächlich in integrierten Halbleitern und elektronischen Produkten mit hoher Photosensitivität verwendet. Zum Beispiel eignen sie sich für die Verpackung militärischer integrierter Schaltungen mit hoher Luftdichtheit, guter Lichtdurchlässigkeit und hoher Zuverlässigkeit. Sie können als Substrate und Verpackungshülsen für Produkte wie Quarzkristalloszillatoren und optische Geräte verwendet werden. Mit der kontinuierlichen Aktualisierung moderner elektronischer Komponenten nimmt auch die Nachfrage nach schwarzen Aluminiumoxid -Verpackungssubstraten zu. Schwarzes Aluminiumoxid wird während der Synthese von Aluminiumoxidpulver produziert, indem speziell Übergangsoxide (wie Fe₂o₃, Cr₂o₃, COO und andere Übergangs -Metalloxide) hinzugefügt werden. Diese Oxide erzeugen Energieniveaus, die sichtbares Licht absorbieren können, sodass das Material einen großen Anteil an sichtbarem Licht aufnehmen und so schwarz erscheinen kann. Als hohe und hohe Stabilitätsoszillatorkomponente wird der Quarz -Kristalloszillator in Feldern wie Automobilen, Computern, Netzwerken und Mobilkommunikation häufig verwendet. Mit der raschen Entwicklung der elektronischen Kommunikationsindustrie und den Trends der Miniaturisierung und der hohen Leistung entwickeln sich elektronische Komponenten in Richtung Chip -Typ, Miniaturisierung und hoher Integration. Die Verpackungsanforderungen für Quarzkristalloszillatoren werden ebenfalls höher. Der mit schwarzen Aluminina -Keramik verpackte Kristalloszillator kann das Volumen um 30 bis 100 Mal verringern.

Im Mikroelektronikfeld wird Sapphire hauptsächlich als Substrat für Halbleiterdünn - Film -Epitaxie (wie Gan, Si, Algan usw.) und in der Produktion integrierter Schaltungen verwendet. Saphir hat gute thermische Eigenschaften, ausgezeichnete elektrische und dielektrische Eigenschaften. Darüber hinaus ist Saphir mit einer MOHS -Härte von 9 extrem hart und sehr kratzig - resistent (im Vergleich zu Diamant = 10 und Glas ≈ 5,5). Diese Eigenschaften und mehr machen Saphir zum bevorzugten hochwertigen Material für viele Anwendungen mit harten Umgebungsbedingungen wie Photonik, solide - staatliche Beleuchtung, wissenschaftliche Forschung, Linsen und Deckteller, entworfene Beleuchtung und optische Sensoren.