Shaanxi Puwei Electronic Technology Co., Ltd

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SiC-Keramik-Roboterarm für die Halbleiterfertigung
SiC-Keramik-Roboterarm für die Halbleiterfertigung
SiC-Keramik-Roboterarm für die Halbleiterfertigung
SiC-Keramik-Roboterarm für die Halbleiterfertigung

SiC-Keramik-Roboterarm für die Halbleiterfertigung

  • $5

    ≥50 Piece/Pieces

Schatten:
  • Zahlungsart: T/T
  • Incoterm: FOB,CIF,EXW
  • Minimum der Bestellmenge: 50 Piece/Pieces
  • Transport: Ocean,Air,Express
  • Hafen: Shanghai,Beijing,Xi’an
Beschreibung
Produkteigenschaften

MarkePuwei-Keramik

HerkunftsortChina

Arten VonHochfrequenzkeramik

MaterialSiliziumkarbid

SIC -Wafer -Handling ArmsHalbleiter -Herstellung von Silizium -Carbid -Keramik -Roboterarm

Verpackung & Lieferung
Verkaufseinheiten: Piece/Pieces
Pakettyp: Keramiksubstrate werden in Kartons mit Kunststoffeinlage verpackt, um Kratzer und Feuchtigkeit zu verhindern. Stabile Kartons werden auf Paletten gestapelt und mit Spanngurten oder Schrumpffolie gesichert. Dies gewährleistet Stabilität, einfache Handhabun
Bildbeispiel:
Lieferfähigkeit & Zusatzinformationen

VerpakungKeramiksubstrate werden in Kartons mit Kunststoffeinlage verpackt, um Kratzer und Feuchtigkeit zu verhindern. Stabile Kartons werden auf Paletten gestapelt und mit Spanngurten oder Schrumpffolie gesichert. Dies gewährleistet Stabilität, einfache Handhabun

Produktivität1000000

TransportOcean,Air,Express

Ort Von ZukunftChina

Unterstützung überThe annual production of ceramic structural components are 200000 pieces.

Zertifikate GXLH41023Q10642R0S

HafenShanghai,Beijing,Xi’an

ZahlungsartT/T

IncotermFOB,CIF,EXW

Produktbeschreibung

SiC-Keramik-Roboterarm für die Halbleiterfertigung

Der Keramik-Roboterarm aus Siliziumkarbid (SiC) von Puwei stellt den Gipfel der Präzisionsautomatisierungstechnologie für die fortschrittliche Halbleiterfertigung dar. Diese aus hochreiner Siliziumkarbidkeramik gefertigten Roboterarme liefern unübertroffene Leistung in den anspruchsvollsten Halbleiterfertigungsumgebungen und gewährleisten einen kontaminationsfreien Betrieb und außergewöhnliche Zuverlässigkeit für die Chipproduktion der nächsten Generation.

Kritische Leistungsvorteile

  • Ultrahohe Reinheit: Keine Partikelerzeugung und Ausgasung in Reinraumumgebungen
  • Außergewöhnliche thermische Stabilität: Behält die Maßgenauigkeit bei Temperaturen bis zu 1600 °C
  • Hervorragende Chemikalienbeständigkeit: Widersteht korrosiven Prozesschemikalien und Gasen
  • Außergewöhnliche mechanische Festigkeit: Hohes Verhältnis von Steifigkeit zu Gewicht für präzise Positionierung

Fortschrittliche SiC-Keramik-Roboterarmtechnologie

High-precision SiC ceramic robotic arm for semiconductor manufacturing

Fortschrittlicher Roboterarm aus SiC-Keramik – entwickelt für Halbleiterpräzision

Technische Spezifikationen

Materialeigenschaften

  • Material: Hochreines Siliziumkarbid (SiC)
  • Dichte: 3,10 - 3,20 g/cm³
  • Härte: HV 2400–2800 (Knoop 100 g).
  • Oberflächenrauheit: Ra ≤ 0,2 μm

Mechanische Eigenschaften

  • Biegefestigkeit: 400 - 500 MPa
  • Druckfestigkeit: >2000 MPa
  • Elastizitätsmodul: 410 - 450 GPa
  • Bruchzähigkeit: 4,0 - 4,5 MPa·m¹/²

Thermische Eigenschaften

  • Maximale Betriebstemperatur: 1600 °C in Luft
  • Wärmeleitfähigkeit: 120 - 140 W/(m·K)
  • Wärmeausdehnungskoeffizient: 4,0 - 4,5 × 10⁻⁶/K
  • Thermoschockbeständigkeit: Ausgezeichnet

Leistungsangaben

  • Positionierungsgenauigkeit: ±5 μm Wiederholgenauigkeit
  • Partikelerzeugung: <1 Partikel/cm³ (>0,1 μm)
  • Vakuumkompatibilität: Ultrahochvakuumtauglich
  • Ausgasungsrate: <1×10⁻¹⁰ Torr·L/s·cm²

Hauptmerkmale und Wettbewerbsvorteile

Ultrasauberer Betrieb

SiC-Keramik-Roboterarme erzeugen praktisch keine Partikel und weisen eine minimale Ausgasung auf. Dadurch werden die Reinraumstandards der Klasse 1 eingehalten und eine Wafer-Kontamination bei kritischen Halbleiterprozessen, einschließlich mikroelektronischer Verpackungs- und Sensorverpackungsanwendungen , verhindert.

Außergewöhnliche thermische Stabilität

Mit hervorragender Thermoschockbeständigkeit und minimaler Wärmeausdehnung bewahren unsere SiC-Arme eine präzise Positionierungsgenauigkeit auch bei extremen Temperaturzyklen, die beim epitaktischen Wachstum und der thermischen Verarbeitung für mikroelektronische Hochleistungskomponenten auftreten.

Überlegene chemische Beständigkeit

Beständig gegen korrosive Prozesschemikalien wie HF, HCl, H₂SO₄ und aggressive Prozessgase und gewährleistet langfristige Zuverlässigkeit in rauen Halbleiterfertigungsumgebungen, in denen chemische Stabilität für die Produktion integrierter Schaltkreise von entscheidender Bedeutung ist.

Hohe Steifigkeit und Präzision

Der hohe Elastizitätsmodul und die außergewöhnliche Härte von SiC sorgen für ein hervorragendes Verhältnis von Steifigkeit zu Gewicht und ermöglichen eine präzise, ​​vibrationsfreie Bewegungssteuerung, die für die Halbleiterverarbeitung im Nanomaßstab und die Herstellung von Hochfrequenzmodulen unerlässlich ist.

Präzisions-Wafer-Handling-Technologie

Precision SiC wafer handling arm for semiconductor fabrication

Präzisions-Waferhandhabungsarm – optimiert für die Verarbeitung von 300-mm- und 450-mm-Wafern

Anwendungen in der Halbleiterfertigung

Wafertransfer und -handhabung

Entscheidend für den automatisierten Wafertransport zwischen Prozessgeräten, einschließlich CVD-, PVD-, Ätz- und Implantationssystemen. Unsere SiC-Arme gewährleisten eine beschädigungsfreie Handhabung von 300-mm- und neuen 450-mm-Wafern mit einer Positionierungsgenauigkeit im Submikrometerbereich, die für fortschrittliche elektronische Verpackungsprozesse unerlässlich ist.

Präzisionsbearbeitungsvorgänge

Unverzichtbar für Lithographie-, Ätz- und Abscheidungsprozesse, die Präzision im Nanomaßstab erfordern. Die außergewöhnliche Dimensionsstabilität von SiC gewährleistet eine konstante Leistung in mehrachsigen Positionierungssystemen für die Herstellung von Mikroelektronik- und Mikrowellenkomponenten .

Hochtemperatur-Prozesskammern

Ideal für epitaktische Wachstums-, Diffusions- und Glühprozesse, bei denen herkömmliche Materialien an Qualität verlieren würden. SiC behält seine mechanische Integrität und Präzision bei Temperaturen über 1000 °C bei und unterstützt so die Produktion fortschrittlicher Leistungsgeräte .

Vakuum- und hochreine Umgebungen

Speziell entwickelt für Hochvakuum- und extreme Reinraumanwendungen, bei denen die Partikelerzeugung und -ausgasung minimiert werden muss, um Ausbeuteverluste bei der Herstellung moderner Knotenhalbleiter für Mikrowellenanwendungen und optoelektronische Anwendungen zu verhindern.

Kundennutzen und Wertversprechen

Operative Exzellenz

  • Höhere Ausbeute und Zuverlässigkeit: Minimierte Partikelkontamination und außergewöhnliche Zuverlässigkeit führen zu höheren Produktionsausbeuten und reduzierten Ausfallzeiten in milliardenschweren Halbleiterfertigungsanlagen
  • Längere Lebensdauer: Überlegene Verschleißfestigkeit und chemische Stabilität sorgen im Vergleich zu herkömmlichen Materialien für eine längere Lebensdauer und reduzieren die Wartungshäufigkeit und die Gesamtbetriebskosten
  • Prozessoptimierung: Ermöglichen Sie Prozesse bei höheren Temperaturen, schnellere Zykluszeiten und eine strengere Prozesskontrolle durch die außergewöhnlichen thermischen und mechanischen Eigenschaften von SiC-Keramik
  • Energieeffizienz: Hervorragende Wärmeleitfähigkeit reduziert den Kühlbedarf und verbessert die Gesamtenergieeffizienz in Halbleiterfertigungsprozessen

Implementierungs- und Integrationsprozess

  1. Anforderungsanalyse und technische Beratung

    Umfassende Bewertung Ihrer Anforderungen an die Halbleiterfertigung, einschließlich Prozessspezifikationen, Reinraumklassifizierung und Integration in bestehende Automatisierungssysteme.

  2. Kundenspezifisches Design und Engineering

    Detaillierte Konstruktionsphase einschließlich Finite-Elemente-Analyse, thermischer Modellierung und Leistungssimulation zur Optimierung des Roboterarms für Ihre spezifischen Anwendungsanforderungen.

  3. Präzisionsfertigung und Qualitätskontrolle

    Fortschrittliche Herstellungsprozesse, einschließlich hochreiner Materialsynthese, Präzisionsformung und Sintern in kontrollierter Atmosphäre, um optimale mechanische und thermische Eigenschaften zu erreichen.

  4. Leistungsvalidierung und -tests

    Strenge Tests, einschließlich Dimensionsüberprüfung, Prüfung mechanischer Eigenschaften, Oberflächenanalyse und Reinraumleistungsvalidierung, um die Einhaltung der Standards der Halbleiterindustrie sicherzustellen.

  5. Integration und Inbetriebnahme

    Professionelle Installation mit präziser Kalibrierung und Integrationsunterstützung, um eine optimale Leistung in Ihrer Halbleiterfertigungsumgebung sicherzustellen.

Fortschrittlicher Herstellungsprozess

  1. Materialsynthese und -vorbereitung

    Hochreine SiC-Pulversynthese mit kontrollierter Partikelgrößenverteilung und minimalem Verunreinigungsgehalt für optimale mechanische und thermische Eigenschaften.

  2. Präzisionsformung

    Fortschrittliche Formtechniken wie Spritzguss, Pressen oder Gießen zur Herstellung komplexer Roboterarmgeometrien mit strenger Maßkontrolle.

  3. Hochtemperatursintern

    Sintern in kontrollierter Atmosphäre bei Temperaturen über 2000 °C, um volle Dichte und optimale Mikrostruktur für maximale Festigkeit und Zuverlässigkeit zu erreichen.

  4. Präzisionsbearbeitung

    Diamantschleifen und -polieren, um Toleranzen im Mikrometerbereich, kritische Oberflächen und die außergewöhnliche Oberflächengüte zu erreichen, die für Reinraumanwendungen erforderlich ist.

  5. Qualitätsüberprüfung

    Umfassende Tests einschließlich Dimensionsüberprüfung, Prüfung der mechanischen Eigenschaften, Oberflächenanalyse und Validierung der Reinraumleistung.

Qualitätszertifizierungen und Compliance

  • Zertifiziertes Qualitätsmanagementsystem nach ISO 9001:2015
  • Einhaltung von SEMI-Standards für Halbleitergeräte
  • Herstellungsprotokolle für Reinräume (Klasse 100 und besser)
  • Zertifizierung der Materialreinheit (mindestens 99,99 %)
  • Branchenspezifische Zertifizierungen und Compliance-Dokumentation

Anpassungsmöglichkeiten

Puwei bietet umfassende OEM- und ODM-Dienstleistungen für Hersteller von Halbleitergeräten und bietet maßgeschneiderte Lösungen für spezifische Fertigungsanforderungen:

  • Kundenspezifische Geometrien: Maßgeschneiderte Designs für spezifische Anforderungen an Halbleiterwerkzeuge und Platzbeschränkungen
  • Oberflächenveredelungen: Verschiedene Oberflächenbehandlungen und Beschichtungen für spezifische Anwendungsanforderungen und Umgebungsbedingungen
  • Integrationsfunktionen: Benutzerdefinierte Montageschnittstellen, Verbindungspunkte und Kompatibilität mit vorhandenen Automatisierungssystemen
  • Materialmodifikationen: Maßgeschneiderte SiC-Formulierungen und Verbundwerkstoffe für spezifische Leistungsanforderungen
  • Validierungstests: Anwendungsspezifische Leistungstests, Qualifizierungsprotokolle und Dokumentationsunterstützung

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