Silizium -Carbid -Keramikträger -Tablettscheibe

Produktübersicht

Siliziumkarbid (SIC) Keramikträger-Tablettscheibe ist eine Hochleistungskomponente, die für Präzisionsindustrien wie die Herstellung von Halbleiter, Optoelektronik und Luft- und Raumfahrt, die für die Semiconductor-Herstellung, wesentlich ist. Dieses Produkt wird von Puwei Keramik hergestellt, einem vertrauenswürdigen Namen in fortschrittlichen Keramiklösungen und sorgt für eine außergewöhnliche thermische Stabilität, chemische Resistenz und mechanische Haltbarkeit. Sein Design unterstützt kritische Prozesse, bei denen kontaminationsfreie Handhabung und Hochtemperaturdauer von größter Bedeutung sind.

Als spezielle Variante elektronischer Keramikprodukte zeichnet sich das SIC -Keramikträgerschale in Umgebungen aus, die eine minimale thermische Expansion und maximale Zuverlässigkeit erfordern. Es ergänzt das breitere Portfolio von Puwei Ceramic, einschließlich Alumina-Keramik-Substraten und Aluminiumnitrid-Keramik , durch die Behandlung von Anwendungen mit ultrahohen Temperaturen.

Technische Spezifikationen

Die SIC Ceramic Carrier Tably -Scheibe ist so konstruiert, dass sie strenge industrielle Standards entsprechen. Zu den wichtigsten technischen Parametern gehören:

• Material: High-Purity-Siliziumcarbid (sic)
• Maximale Betriebstemperatur: > 1600 ° C
• Wärmeleitfähigkeit: 120-200 mit m · k
• Härte: > 2500 HV (Vickers Härte)
• Oberflächenflatheit: <10 µm Abweichung
• Standardgrößen: Benutzerdefinierte Durchmesser von 100 mm bis 400 mm
• Elektrischer Widerstand: > 10^10 Ω · cm

Diese Spezifikationen gewährleisten die Kompatibilität mit automatisierten Handhabungssystemen und Präzisionsherstellungswerkzeugen. Für den Kontext informiert Puwei Ceramics Fachwissen in der Produktion von Aln Ceramic Substrat die hier erreichten engen Toleranzen.

Produktbilder und Videos

Abbildung 1: SiC Ceramic Carrier Tablett mit gleichmäßiger Oberfläche für Waferstütze.

Abbildung 2: Tablettscheibe in einer Reinraumumgebung für Optoelektronik.

Videos, die den Wärmeschockwiderstand und die Belastungskapazität demonstrieren, sind auf Anfrage erhältlich. Diese Grafiken unterstreichen die Überlegenheit des Produkts gegenüber herkömmlichen Aluminiumoxid -Keramik -Strukturkomponenten unter extremen Bedingungen.

Produktmerkmale und Vorteile

Kerneigenschaften

• Ultrahohe Temperaturwiderstand: Stand den anhaltenden Temperaturen über 1600 ° C, ideal für Halbleiter-Annealing- und Diffusionsprozesse.
• Außergewöhnliche chemische Inertheit: widersteht Säuren, Alkalien und Lösungsmitteln und verhindert Kontamination während des Ätzens oder Reinigens.
• Überlegene mechanische Festigkeit: Härte nur zum Diamanten, wodurch minimale Deformation unter mechanischer Spannung gewährleistet ist.
• Ausgezeichnete elektrische Isolierung: Isolate von Wafern aus elektrischen Interferenzen, kritisch für die Halbleiterintegrität.

Vergleich mit Alternativen

Im Gegensatz zu Standard -Lösungen von 99,6 -Keramik -Substrat -Substrat von 99,6 bietet unser SIC -Tablett eine höhere thermische Leitfähigkeit und 50% bessere Verschleißfestigkeit. Dies macht es für Anwendungen der nächsten Generation geeignet, bei denen DBC-Keramik-Substrat oder AMB-Keramik-Substrat -Technologien eingesetzt werden.

So verwenden Sie die SIC Ceramic Carrier Tablettscheibe

1. Inspektion: Überprüfen Sie die Sauberkeit und Oberflächenflatheit vor der Verwendung.
2. Belastung: Stellen Sie Waffeln oder Komponenten gleichmäßig auf, um die Spannungskonzentration zu vermeiden.
3. Prozessintegration: Übertragen Sie das Tablett durch Hochtemperaturöfen oder chemische Bäder pro Protokoll.
4. Aufrechterhaltung: Sauber mit entionisiertem Wasser oder milden Lösungsmitteln; Vermeiden Sie Schleifmaterialien.

Für komplexe Setups wie diejenigen, die metallisierte Keramik betreffen, wenden Sie sich an das technische Team von Puwei Keramik, um Richtlinien für Ausrichtung zu erhalten.

Anwendungsszenarien

Semiconductor Manufacturing

Das Tablett wird für Waferglühungen, Ätz- und CVD -Prozesse verwendet und sorgt für die Positionsgenauigkeit innerhalb von 1 µm. Seine Stabilität reduziert Defekte in hochrangigen Produktionslinien.

Optoelektronik

Bietet eine nicht kontaminierende Basis für die Herstellung von LED- und Laserdioden, wodurch die thermische Leitfähigkeit zur effektiven Ableitung der Wärme nutzt.

Luft- und Raumfahrt und Verteidigung

Schützt die empfindliche Elektronik in Satelliten und Raketen vor extremen Temperaturen und Strahlung und übertrifft traditionelle Materialien für keramische Aluminiumoxid -Roboter -Armmaterialien .

Vorteile für Kunden

• Verlängerte Lebensdauer: 5x längere Lebensdauer als auf Aluminina basierende Tabletts, wodurch die Austauschkosten gesenkt werden.
• Verbesserte Ausbeute: Minimiert Wafer Breakage und Kontamination und steigern die Produktionseffizienz um bis zu 15%.
• Energieeffizienz: Eine hohe thermische Leitfähigkeit senkt die Prozessheizzeiten und spart Energie.

Zertifizierungen und Konformität

Die SIC -Trägerablettungsscheibe von Puwei Ceramic entspricht den Qualitätsnormen von ISO 9001 und hält ein Copyright -Zertifikat für Kühlkörper . Es erfüllt auch ROHS und erreicht Umweltanweisungen, um die globale Akzeptanz zu gewährleisten.

Anpassungsoptionen

Wir bieten OEM- und ODM -Dienste an, die Tabletts mit Dicken von 0,2 mm bis 2,00 mm und Größen bis zu 240 mm x 280 mm produzieren. Large-Format-Designs, ähnlich wie unsere DPC-Substratlösungen , sind ein Unternehmensspezialität. Benutzerdefinierte Formen, Grooves oder Metallisation (z. B. für die Metalisierung Keramik ) sind verfügbar.

Produktionsprozess

1. Pulvervorbereitung: Hochpurity-sic-Pulver wird ausgewählt und mit Bindemittel gemischt.
2. Bildung: Trockene Press- oder Injektionsformformen formen das Tablett.
3. Sintern: Ab 2000 ° C+, um die volle Dichte zu erreichen.
4. Präzisionsbearbeitung: Das CNC-Schleifen sorgt für die Genauigkeit der Mikronebene.
5. Qualitätskontrolle: Jedes Tablett unterliegt Flachheit, Porosität und Festigkeitstests.

Kundenaussagen und Bewertungen

Techsemiconductor Inc., USA: „Die SIC-Tabletts von Puwei haben unseren Waferverlust um 20% bei Annealing-Prozessen reduziert. Ihre Konsistenzrivalen konkurrieren erstklassige europäische Lieferanten.“

Optolight GmbH, Deutschland: „Die benutzerdefinierten 300 -mm -Tabletts sind nahtlos in unsere LED -Produktion integriert, ohne dass eine Kontamination über 10.000 Zyklen ausgeht.“

Häufig gestellte Fragen (FAQ)

F1: Wie ist SIC im Vergleich zu Aln Ceramics Disc im thermischen Management?

SIC bietet eine höhere thermische Leitfähigkeit (bis zu 200 W/m · k gegenüber 180 W/m · k für ALN), zeichnet sich jedoch in mechanischer Stärke aus, was es für tragende Anwendungen besser macht.

F2: Kann das Tablett in Wasserstoffatmosphären verwendet werden?

Ja, unsere SIC -Tabletts sind stabil, um die Atmosphären auf 1600 ° C zu reduzieren, im Gegensatz zu einigen Aluminiumnitrid -Substraten .

F3: Was ist die Vorlaufzeit für benutzerdefinierte Größen?

Standardauftragsschiff in 2 Wochen; Benutzerdefinierte Designs benötigen 4-6 Wochen für Werkzeuge und Validierung.